- рентгеновская микролитография
- X-ray microlithography
Русско-английский физический словарь. 2013.
Русско-английский физический словарь. 2013.
Преломление рентгеновских лучей — физический процесс взаимодействия электромагнитных волн рентгеновского диапазона с поверхностью, сопровождающийся изменением направления волнового фронта на границе двух сред с разными оптическими свойствами.Является разновидностью полного… … Википедия
Фоторезист — (от фото и англ. resist) полимерный светочувствительный материал. Наносится на обрабатываемый материал в процессе фотолитографии или фотогравировки с целью получить соответствующее фотошаблону расположение окон для доступа травящих или … Википедия